莱布尼茨对个体实体内在结构的分析是从人这里开始的。人被看作是能动的，甚至不朽的实体或主体，这并没有多大的争议。尽管中世纪神学家把上帝置于人之上，使人屈从上帝，但它们仍然承认除上帝之外，人是宇宙中最伟大、最实在的。近代以来，上帝的地位动摇了，人的主体、实体地位进一步突出，那么，人为什么是主体或实体，是万物之灵长？哲学家都以不同的方式遵循了亚里士多德的回答：人是有理性的动物。就是说，人是有精神的，精神是人的本质。同时人又不是上帝，人不是单纯的精神，它有形体，有被动的、可死的物质方面。这样，如果把人看作是实体，那么这种实体就是由精神或心灵和形体两方面构成的，而人的实体性、主体性、能动性、伟大性又在于人的那种宇宙中其他事物不具有的精神方面。这种思想近代在笛卡尔那里得到了系统的表达。在他看来，所有的物体（包括人的形体）都是实体，但所有的物体都是被动的机器，只有人例外，而其所以如此，就是因为人有心灵或精神。虽然在他那里存在着二元论的困境，但他的目的是要确立人的主体地位，而作为主体的人的内在结构是心灵和形体的统一。莱布尼茨对人的结构的理解基本上是遵循传统观点，并且与笛卡尔没有重大的分歧。与传统观点不同的是，他在把人看作精神与形体的统一体的同时，进一步用这种模式去考察宇宙中所有的个体或笛卡尔所说的有形实体。他说：“我虽然同意笛卡尔派所说的灵魂永远在思想，但对他们的另外两点我是不同意的。我相信禽兽是有不灭的灵魂的，而人和其他一切的灵魂不会没有某种身体的；我甚至主张唯独上帝，作为一种纯粹的现实性，才是完全不具形体的。”他首先把人的模式扩展到动物。笛卡尔认为动物是机器，而他认为动物的形体是机器，但除了形体之外，还有某种与人的精神或思想类似的东西，他称之为灵魂。
然后，他进一步把人的模式扩展到植物以及有生命的生物，认为它们既具有形体，同时也有灵魂、感觉或与之类似的东西。最后他还把人的模式扩展到所有个体事物，认为它们只要是真正的个体实体，就都不仅有形体，而且有与灵魂或思想相似的东西，他称之为原始的力、隐德来希或实体形式。莱布尼茨的上述扩展不是一次完成的，而是经历了一个相当长的思索探讨过程。在《形而上学谈论》中，他只认为人、动物、植物是个体实体，它们有灵魂和形体。到《新系统》，他不仅认为人和动植物如此，而且认为所有个体事物都是由形式和形体构成的。既然所有被看作实体的个体事物都不仅有形体，而且有形式，那就可以得出关于个体实体结构的一般性结论，这就是：个体实体是由非物质的实体形式和形体构成的。他说：“有形实体有一个灵魂和一个有机的形体，即由其他实体构成的团块。”又说：“一个真正的实体，诸如一个动物，是由一个非物质的灵魂和一个有机化的形体构成的；它是这两种东西的复合体，被称为一本身。”如果个体实体是由灵魂和形体构成的，那么是灵魂还是形体使个体成为实体呢？或者说，就这两方面而言，个体的实体性在于什么呢？莱布尼茨同样从人这里引申出他的观点。既然作为实体的人的实体性在于精神方面，那么作为个体实体的个体事物的实体性也应在于灵魂或实体形式方面。他在分析了有形实体是由灵魂和形体构成的之后，指出：“的确，同一个实体具有思想并且具有一个与之结合在一起的有广延的团块，但是它并不是由这个团块构成的，因为所有这一切都能从它那里拿掉，而不改变这个实体。”
由前面的分析已经看到，在莱布尼茨那里，使个体实体成为实体的东西，他有不同的叫法，如实体形式（或形式）、隐德来希（或第一隐德来希）、灵魂、力（或原始的力、自然的力）、简单实体、单子等。这不同的术语，在莱布尼茨心目中，意义是大体相同的。例如他说：“这种古老的形式或隐德来希只不过是力。”“隐德来希在我看来毋宁适合于原始的能动的力”。“那些隐德来希，就是说那些原始的或实体性的倾向，当它们伴随着知觉时，就是灵魂。”他之所以用这么多不同的术语表达那种使个体实体成为实体的东西，是因为这些术语的含义是内在联系或一致的。这里我们不妨对它们作些考察。“实体形式”（forme substantielle）是经院哲学家改造亚里士多德的“形式”（forme）提出来的。在亚里士多德那里，形式是使个体事物成为该个体事物或实体的东西，含有本质、动力、目的的意义，可以说是事物的本质因、动力因、目的因。经院哲学家的“实体形式”也大体上含有亚里士多德的“形式”的意义，不过他们更强调其中的目的的意义，用它指事物努力的目的，以说明事物中的变化，无论这种变化是未来的现在还是过去的现在。莱布尼茨正是在这种意义上说实体形式或形式是“一种能在活动着的事物中发现的活动的本原”，即它是活动的源泉，它说明活动。他据此把它看作是一种变化的内在本原，具有它努力追求的目的。在莱布尼茨那里，实体形式和实体的关系表面看来并不十分明确。例如，他把实体形式称作“实体的本原”，认为它和物质一起构成那真正是一的实体，即单子，而且他还在一个实体中区分了变化的内在本原和变化的系列本身。所有这些表明，实体形式只是实体的一个方面。另一方面，他又说可以称实体形式为“生命的本原”，它是不可分的实体或统一性，并且断定一个物体的实体必定是形式。然而，在他那里并没有真正的矛盾，当他把实体形式作为实体的一方面时，实体一般所指的是个体实体或复合实体，偶尔也指简单实体，但这是在进一步分析简单实体的结构以后（即认为简单实体包含主动性（形式）和被动性（初级物质）两个方面）才如此；当他把实体形式作为实体时，这里的实体所指的是简单实体，在他那里实体形式就是简单实体。无论他把实体形式看作是实体的一个方面，还是看作实体本身，有一点是确定无疑的，那就是他把它看作是使个体事物成为实体的东西。
在经院哲学中，“实体形式”并不是一个孤立的术语，而是一组相关术语中的一个。这些相关术语包括“隐德来希”、“灵魂”等。正因为如此，莱布尼茨也用这些术语来说明个体实体何以成为实体。关于隐德来希（Entelechie），他说，实体能被叫作隐德来希，因为它们本身具有“一定的完善性”。按照经院哲学和莱布尼茨的用法，称某物“完善”意味着它已经达到了它充分发展的状态，即达到了它的形式。不过莱布尼茨通常用“隐德来希”意指形式本身，而不是意指包含形式的东西。在这种意义上，说一个实体包含一种形式，意指它包含一种隐德来希，而称一个实体为隐德来希意指它是一种形式。关于灵魂（anima，ame），他也遵循了经院哲学的用法。他认为灵魂可以在宽泛意义上和严格意义上使用。“广义地说，灵魂是与生命或生命本原相同的，就是说，是存在于简单事物或单子之中的那种与外在活动相应的内在活动的本原。”“在严格意义上，灵魂被用于一种高尚的生命，或有感觉的生命，在那里不仅有知觉的能力，而且就注意和记忆与知觉联系在一起而言，还具有感觉的能力。”由此看来，在广义上，灵魂是与实体形式同一的。当他说所有的实体都有灵魂，有形实体有一个灵魂和一个形体，以及自然中到处有生命时，就是在这种意义上使用灵魂的。有时，他似乎是在狭义上使用这个概念，如他说：“这同一实体本原，在有生命的事物中被称为灵魂，在其他事物中被称为实体形式”；“单纯的实体仅仅是有知觉的，而我们只把那些具有比较清晰的知觉而且有记忆伴随着的单纯实体统称为灵魂”。一般说来，灵魂在他那里相当于实体形式和隐德来希，但仔细研究会发现，灵魂似乎不仅具有实体形式、隐德来希所包含的那种活动的本原、活动的目的、形式或目的的实现的意义，而且具有知觉、思想的含义。当他谈到灵魂时往往与思想、知觉联系起来，但在谈到实体形式和隐德来希时并非总是如此。
经院哲学的术语并不是莱布尼茨用以表述使个体成为实体的那种东西的唯一术语，他还从近代自然科学，特别是力学中，借用了“力”（force）的概念。按照他的用法，“力”是指“现在状态中包含的向未来变化的东西”。他把力（亦称“活动的力”）分为“原始的力”和“派生的力”。前者“在每一个有形实体中发生作用”，后者“只是原始力的限制，产生于冲突着的物体相互作用的复多性”。力或原始的力在莱布尼茨那里大体上被看作是与实体形式同义的。不过，如果说灵魂侧重在知觉方面，那么力的意义更侧重在欲望方面，如他说，他把力理解为“活动的能力和活动本身的中项和包含自然倾向”的某种东西。关于力和隐德来希的关系，莱布尼茨有时说一种力包含一种隐德来希，有时又说“一种隐德来希具有人们能称作力、努力、自然意向的东西”，有时又把原始的力看作是成为一种隐德来希。
如果说莱布尼茨所使用的“实体形式”、“隐德来希”、“灵魂”、“原始的力”含义基本一致，但各有所侧重的话，那么他在1695年以后开始使用的单子概念则包含了他所赋予上述所有概念的所有含义。可以说这个概念是莱布尼茨用以说明个体何以成为独立自主的实体的成熟的、完整的概念。
“单子”（monad）来源于法文的monade或晚期拉丁文的monas，而这个词又来源于希腊文，其本来的含义是“一”或“单位”、“单元”。莱布尼茨说：“单子（monas）是一个希腊词，它意指统一体或那是一的东西。”早在毕达哥拉斯那里就用了这个概念，但有研究者认为，莱布尼茨是从剑桥柏拉图派那里借用这个概念的。莱布尼茨作过注的卡德沃思（RalphCudworth）的《真正的理智的系统》，是他的单子概念最可能的来源。在这部著作中，卡德沃思讨论了无广延的实体以及物理和数学的最小量与形而上学的无广延物之间的区别。在讨论古代无形体主义者的观点时，他说：“一个无形体无广延的神既不是一个物理的点，因为这种点中有距离，并且在思想上是可分的，也不是一个数学的点，因为这种点尽管既没有度量也没有实物，但还是有地点和位置，在亚里士多德看来，一个点是有地点和位置的单子”。他不仅一再重申经院哲学在真正的单子（心灵）和堆集之间所作的区别，而且特别把真正的单元描述为单子。他说：“一个思想者是一个单子，或一个单个实体，而不是一堆实体，而形体或有广延的事物都不是一，而是许多实体，每一个可想象的或最小的部分因而是一个个实在的实体本身。”在亨利·莫尔（Henry More）的《形而上学手册》（1671）中，也谈到灵魂是“形而上学的单子”，莱布尼茨在1679年得到了这本书。莱布尼茨不仅从剑桥学派那里借用了单子概念，而且接受了他们对单子概念含义的理解，只不过他后来把单子作为他的形而上学的核心概念，其中内涵了他的形而上学的基本思想。
概括说来，莱布尼茨的单子概念有以下基本含义：（1）它是没有部分的、组成复合物的单纯实体，是“自然的真正原子”或“事物的元素”；（2）它不能通过自然方式产生和消灭，“只能通过创造而产生，通过毁灭而消灭”，由单子构成的事物也没有真正的死亡和消灭；（3）它是完全独立的，“没有可供事物出入的窗户，不论实体或偶性都不能从外面进入一个单子”，它“不依附于上帝和它自身之外的任何事物”；（4）它是自发的，它的变化来自一个内在的本原，外在的原因不可能影响到它的内部，它是活动的源泉，是自己的活动的唯一原因；（5）它是一面镜子，以自己的方式反映整个宇宙，同时它不能没有特殊状态存在下去，而它现在的状态是它以前状态的后果，同时又包孕了未来；（6）单子没有广延性或量的规定性，那么它要存在就必定有某种性质，不同的质使各个单子彼此区别开来。