关于傩产生的时间，现在已无从考证，但可以确定的是，在我国上古时代就已经出现了这种与巫密切相关的活动。由于上占时代的先民对无法掌控的自然现象和人的生老病死的恐惧与茫然，就能凭自身的想象把各种天灾人祸归结为是疫鬼的作祟，所以，只要驱除了疫鬼，灾难就会消失，人类就会平安，于是，就用各种凶恶的面具来装扮凶神以驱逐恶鬼，从而得到某些心理的安慰或平衡，在这样的背景下，就产生了傩祭。
甲骨文中有关“舞”的记载中有“魃”字，是一人头戴假面具的形象；说明商代以前就有戴面具的驱鬼逐疫的傩祭舞蹈。以后《论语》、《吕氏春秋》、《周礼》都有记载。据现有文献来看，最早的傩神是“方相氏”，在《周礼·夏官·方相氏》中：
方相氏掌蒙熊皮、黄金四目，玄衣朱裳，执戈扬盾，帅百隶而时傩，以索室殴役。
这种“掌蒙熊皮、黄金四目，玄衣朱裳，执戈扬盾”的形态，奠定了摊的基本模式，在以后长达数千年的时间里，傩的表演基本都是这样模式。在《论语·乡党篇》中也有孔子观傩的记载：
乡人饮酒，杖者出，斯出矣。乡人傩，朝服而立于阼阶。人于他邦，再拜而送之。
孔子虽然“不语怪力乱神”，但却能够做到“敬鬼神而远之”，他对于傩的态度是恭敬的。
周代一年有三次大型傩祭活动。据《礼记·月令》载：
季春之月，命国傩，九门磔禳，以毕春气。
仲秋之月，天子乃傩，禦佐疾，以达秋气。
季冬之月，命有司大傩，旁磔，出土牛，以送寒气。
周代的傩祭有很浓厚的巫术成分，但从“季春之月……以毕春气。仲秋之月，……以达秋气。季冬之月，……以送寒气”等记载来看，周代已经把傩祭与阴阳五行相生相克的哲学思想联系起来了。因为在周人看来，“寒暑不时则疾，风雨不节则饥”（《礼记·乐记》）。所以，傩祭要在立春、立秋、立冬之日举行。
西汉时，傩祭有了很大发展，《汉旧仪》载：
方相帅百末及童子，以桃弧、棘矢、土鼓，鼓且射之，以赤丸、五谷播洒之。
汉代被驱逐的鬼为三种，相传撷颛顼氏的三个儿子死后变为魑魅疫鬼，祸害人民。至东汉便有十二恶鬼，相应地也增出十二神，十二神在方相氏的带领下驱赶、吞噬恶鬼，另增出侲子一百二十人，执大鼗，鼓而助威。《后汉书·礼仪志》对此有比较详细的记载：
“先腊一日大傩，谓之逐疫。其仪选中黄门子弟，年十岁以上，十二以下，百二十人为侲子，皆赤帻皂制，执大鼗。方相氏黄金四目，蒙熊皮，玄衣朱裳，执戈扬盾。十二兽有衣毛角。中黄门行之，冗从仆射将之，以逐恶鬼于禁中。夜漏上水，朝臣会，侍中、尚书、御史、渴者、虎责、羽林郎将执事，皆赤帻陛卫，乘舆御前殿，黄门令奏日：“侲备，请逐疫。”于是中黄门倡侲子和，曰：“甲作食凶，胇胃食虎，雄伯食魅，腾简食不祥，揽诸食咎，伯奇食梦，强梁、祖明共食磔死寄生，委随食观，错断食巨，穷奇、腾根共食蛊.凡使十二神追凶恶，赫汝躯，拉汝干，节解汝肉.抽汝肺肠，汝不急去.后者为粮，’因作方相与十二兽舞。欢呼.周遍前后省三过，持炬火，送疫出端门；门外駱骑传炬出宫，司马阙门门外五营骑士传火弃舞雒水中.百官官府各以木面兽能为雄人师讫.设桃梗、郁垒、苇菱毕.执事陛者罢。
从以上记载来看，汉代的傩舞已经具有了很多戏曲的因素。如方相氏“黄金四目”的化妆，也有戏曲性的服饰如十二兽“有衣毛角”，“毛”应该是动物的毛皮，角应该是头饰。而且还有内容相当丰富的十二神兽剪除各种鬼怪的表演以及歌唱、舞蹈、打斗等场面。这种盛状在东汉张衡《东京赋》中描写更为细致：
尔乃卒岁大傩，驱除群厉，方相秉钺，巫觋操茢。侲子万童，丹首玄制。桃弧棘矢，所发无臬。飞砾雨散，刚瘅必毙。煌火驰而星流，逐赤疫于四裔。然后凌天池，绝飞梁。捎魑魅，斮獝狂。斩蜲蛇，脑方良。囚耕父于清泠，溺女魃于神潢残夔魖与罔像，殪野仲而歼游光。八灵为之震慴，况鬾蛊与毕方。度朔作梗，守以郁垒。神荼副焉，对操索苇。目察区陬，司执遗鬼。京室密清，罔有不韪。
汉代的傩祭和先秦时的傩祭在装扮、服饰和作用方面没有太大的改变，但队伍却要大的多，周代的规模是方相氏“帅百隶而时傩”，其实所谓“百隶”应该是虚指，而不是实际人数，而汉代却实实在在增加了百二十人的黄门子弟伴唱，并由中黄门领唱，门外还有五营骑士传火，可见场面之盛。
值得注意的是，从“朝臣会，侍中、尚书、御史、渴者、虎责、羽林郎将执事，皆赤帻陛卫，乘舆御前殿”等记载来看，此时的傩祭的目的已经不仅仅是单纯的驱鬼，而且有了娱人的目的，以至于皇帝与文武百官都来观看，傩祭开始向傩戏转化。
魏晋南北朝以降，无论是傩舞傩戏还是其它歌舞等文艺形式都开始处于一种相互交流、相互渗透直至相互融合的状态，南朝梁人宗懔在《荆楚岁时记》中记载：
十二月八日，为腊，谚云“腊鼓鸣，春草生”。村人并出，击细腰鼓，戴胡公头，及作金刚力士，以逐除。
这里有一点变化，就是出现了驱傩的新主角——“胡公头”和“金刚力士”。康保成先生认为：“所谓‘胡公’，指的是南朝刘宋时期的刘胡。……这刘胡面黝黑且勇猛，类似驱傩的方相，所以‘胡公头’很快被民间用作驱傩了。”据《宋书·邓功传》载：
刘胡，南阳涅阳人也，以其颜面黝黑似胡，故以为名。及长，以坳胡难道，单呼为胡。出身郡将，捷口，善处分，稍至队主，讨伐诸蛮，无往不捷，蛮甚惮畏之。……蛮至今畏之，小儿啼，语之云“刘胡来”，便止。
可见，面貌甚黑的刘胡在当时可以说是老幼皆知的，甚至可以作为民间吓唬小孩的骇人形象。
除了人物有所变化外，南北朝中的傩舞傩戏与汉代相仿：据《隋书·礼仪志》记载，南北朝中的傩舞傩戏与汉代相仿：
齐制，季冬晦，选乐人子弟十岁以上十二以下为侲子，合二百四十人。一百二十人，赤帻、皁褠衣，执鼗。一百二十人赤布裤褶，执鞞角。方相氏黄金四目，熊皮蒙首，玄衣硃裳，执戈扬楯。又作穷奇、祖明之类，凡十二兽，皆有毛角。鼓吹令率之，中黄门行之，冗从仆射将之，以逐恶鬼于禁中。其日戊夜三唱，开诸里门，傩者各集，被服器仗以待事。戊夜四唱，开诸城门，二卫皆严。上水一刻，皇帝常服，即御座。王公执事官第一品已下、从六品已上，陪列预观。傩者鼓噪，入殿西门，遍于禁内。分出二上阁，作方相与十二兽儛戏，喧呼周遍，前后鼓噪。出殿南门，分为六道，出于郭外。
除人数有所增加外，从“方相氏黄金四目，熊皮蒙首，玄衣硃裳，执戈扬楯”、“又作穷奇、祖明之类，凡十二兽，皆有毛角”、“中黄门行之”等等记载来看，几乎与汉代傩祭没有任何区别，只是娱人的成分更加浓厚了一些。
到了隋朝，也仅仅是人员构成上稍有变化而已，《隋书·礼仪志》载：
隋制，季春晦，傩，磔牲于宫门及城四门，以禳阴气。秋分前一日，禳阳气。季冬傍磔、大傩亦如之。其牲，每门各用羝羊及雄鸡一。选侲子如后齐。冬八队，二时傩则四队。问事十二人，赤帻褠衣，执皮鞭。工人二十二人。其一人方相氏，黄金四目，蒙熊皮，玄衣硃裳。其一人为唱师，著皮衣，执棒。鼓角各十。有司预备雄鸡羝羊及酒，于宫门为坎。未明，鼓噪以入。方相氏执戈扬楯，周呼鼓噪而出，合趣显阳门，分诣诸城门。将出，诸祝师执事，预副牲胸，磔之于门，酌酒禳祝。举牲并酒埋之。
与北齐“……合二百四十人。一百二十人，赤帻、皁褠衣，执鼗。一百二十人赤布裤褶，执鞞角……”相比，隋朝的傩祭是“冬八队，二时傩则四队”，而且与方相氏一起有“工人二十二人”，并出现了一个专门的“唱师”，这些都与之前的人员结构有了区别。
唐代由于国力鼎盛，傩祭的规模与场面更加宏大。据《乐府杂录》载：
用方相四人，戴冠及面具，黄金四目，衣熊裘，执戈，扬盾，口作“傩、傩”之声，以除逐也。右十二人，皆朱发，衣白画衣。各执麻鞭，辫麻为之，长数尺，振之声甚厉。乃呼神名，其有甲作，食者；巯胃，食虎者；腾简，食不祥者；揽诸，食咎者；祖明、强梁，共食砾死寄考者；腾根，食蛊者等。侲子五百，小儿为之，衣朱褶、素襦，戴面具，以晦日于紫宸殿前傩，张宫悬乐。太常卿及少卿押乐正到四阁门，丞并太乐署令、鼓吹署令、协律郎并押乐在殿前。事前十日，太常卿并诸官于本寺先阅傩，并遍阅诸乐。其日，大宴三五署官，其朝寮家皆上棚观之，百姓亦入看，颇谓壮观也。
从以上记载来看，唐代的傩祭有了很大不同，首先，方相氏增为四人，侲子子增为五几百人；其次，太常卿、少卿、乐正到四阁门，乐丞、太乐署令、鼓吹署令、协律郎等所有音乐机关及音乐人员几乎全部参与；再次，观众增加，不仅“朝寮家皆上棚观之”，而且“百姓亦入看”，娱人的目的更加浓厚，几乎可以与后世的戏曲演出相媲美。
关于傩舞傩戏的演出状况，《新唐书·大傩之礼》中记载的非常详尽：
选人年十二以上、十六以下为侲子，假面，赤布袴褶。二十四人为一队，六人为列。执事十二人，赤帻、赤衣，麻鞭。工人二十二人，其一人方相氏，假面，黄金四目，蒙熊皮，黑衣、朱裳，右执楯；其一人为唱帅，假面，皮衣，执棒；鼓、角各十，合为一队。队别鼓吹令一人、太卜令一人，各监所部；巫师二人。以逐恶鬼于禁中。有司预备每门雄鸡及酒，拟於宫城正门、皇城诸门磔攘，设祭。太祝一人，斋郎三人，右校为，各於皇城中门外之右。前一日之夕，傩者赴集所，具其器服以待事。
其日未明，诸卫依时刻勒所部，屯门列仗，近仗入陈於阶。鼓吹令帅傩者各集於宫门外。内侍诣皇帝所御殿前奏“侲子备，请逐疫”。出，命寺伯六人，分引傩者於长乐门、永安门以入，至左右上阁，鼓噪以进。方相氏执戈扬楯唱，侲子和，曰：“甲作食杂，巯胃食虎，雄伯食魅，腾简食不祥，揽诸食咎，伯奇食梦，强梁、祖明共食磔死寄生，委隋食观，错断食巨，穷奇、腾根共食蛊，凡使一十二神追恶凶，赫汝躯，拉汝干，节解汝肉，抽汝肺肠，汝不急去，後者为粮。”周呼讫，前後鼓噪而出，诸队各趋顺天门以出，分诣诸城门，出郭而止。
需要指出的是，在唐代的傩祭表演中，侲子也开始以“假面”出现，且伴奏乐器是“鼓、角各十，合为一队”，并且有乐队指挥，这有点类似后世戏曲的乐队。演唱时既有独唱，又有伴唱，“方相氏执戈扬楯唱，侲子和”，表演过程是“鼓噪以进”、“鼓噪而出”，行进路线很长，“趋顺天门以出，分诣诸城门，出郭而止”，可见，这是为了让更多的人看到，而这时，驱鬼的傩祭几乎成为了专门娱人的傩戏，进一步完成了从傩戏到戏曲的转变。
宋金是我国戏曲的形成期，而这时的傩舞也发生了深刻的变化，逐渐发展成为了真正意义上的傩戏。值得注意的是，宋代傩戏中的主要神灵发生了变化，开始出现了佛教与道教中的人物形象。吴自枚《梦梁录·除夕》记载了南宋宫廷驱傩的盛状：
禁中除夜呈大驱傩仪，并系皇城司诸班直，戴面具，着绣画杂色衣装，手执金枪、银戟、画木刀剑、五色龙凤、五色旗帜，以教乐所伶工装将军、符使、判官、钟馗、六丁、六甲、神兵、五方鬼使、灶君、土地、门户、神尉等神，自禁中动鼓吹，驱祟出东华门外，转龙池湾，谓之埋祟而散。
类似的记载也见于孟元老的《东京梦华录》：
至除日，禁中呈大傩仪，并用皇城亲事官，诸班直戴假面，绣画色衣，执金枪龙旗。教坊使孟景初身品魁伟，贯全副金镀铜甲装将军，用镇殿将军二人，亦介胄，装门神。教坊南河炭丑恶魁肥，装判官，又装钟馗、小妹、土地、灶神之类，共千余人，自禁中驱祟出南薫门外转龙弯，谓之“埋祟”而罢。是夜禁中爆竹山呼，声闻于外，士庶之家，围炉团坐，达旦不寐，谓之守岁。
与唐代及之前的傩祭相比，可以看出有了很多变化，首先是人物发生了巨大的变化，没有出现方相氏、十二神兽、侲子等这些过去傩祭中重要的角色，代之而来的是将军、符使、判官、钟馗、六丁、六甲、神兵、五方鬼使、灶君、土地、门户、神尉、判官、小妹、土地、灶神等神，人物呈现出更为复杂的情形；其次，人数大大增加，达到千余人；再次，时间上也发生了变化，驱傩的时间是在除夕之夜，而且，是夜“爆竹山呼，声闻于外，士庶之家，围炉团坐，达旦不寐，谓之守岁。”
不独宫廷，傩舞在宋代也流入民间，民间也开始有了驱傩仪式，并分为两支，一是乡傩，是庶民百姓组织的傩祭，内容依旧是祭祀祛邪，形式主要是跳傩，有大规模集会，也有分散的个别活动。据《梦粱录·十二月》记载：
自此入月，街市有贫丐者三五人为一队，装神鬼、判官、钟馗、小妹等形，敲锣击鼓，沿门乞钱，俗呼为“打夜胡”，亦驱作之意也。
另一支傩戏，傩戏的表演已经不仅仅是娱神，而是不断向娱人方向发展，所以宋朱熹说：“傩虽古礼，而近于戏”。孟元老《东京梦华录·驾登宝津楼诸军呈百戏》有关于傩表演的记载，其中不乏戏曲因素：